21 Aug Neues Messtechnik-Technologiezentrum für Halbleiter
Für die Gründung eines der größten Technologiezentren für Halbleitermetrologie und -prozessanalyse in Europa haben der Halbleiteranlagenhersteller Applied Materials und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS eine Zusammenarbeit angekündigt. Das Zentrum wird laut den Kooperationspartnern moderne Metrologiesysteme zur Verfügung stellen, um die Halbleiterforschung voranzubringen und Entwicklungsprojekte mit Chipherstellern und Partnern der Branche in ganz Europa zu unterstützen, insbesondere in ICAPS-Marktsegmenten (Internet of Things, Communications, Automotive, Power and Sensors). Das Technologiezentrum wird am Center Nanoelectronic Technologies (CNT) des Fraunhofer IPMS in Dresden angesiedelt sein und soll nach Angaben der Kooperationspartner mit eBeam-Metrologiegeräten von Applied Materials ausgestattet werden, einschließlich des CD-SEM-Systems VeritySEM, einem Rasterelektronenmikroskop für kritische Dimensionen. Auch die Betreuung soll durch Ingenieure und F&E-Experten von Applied Materials erfolgen.
Dr. Benjamin Uhlig-Lilienthal, Leiter des Geschäftsfelds Next Generation Computing am Fraunhofer IPMS, sagt dazu: „Der neue Technologie-Hub wird fortschrittliche Metrologie auf Wafer-Ebene in unserer industriellen CMOS-Umgebung mit der einzigartigen Fähigkeit des Fraunhofer IPMS ermöglichen, Wafer direkt mit Halbleiterherstellern auszutauschen.“ James Robson, Corporate Vice President für Applied Materials Europe, ergänzt: „Dieses einzigartige Kompetenzzentrum wird in der Lage sein, Prozesse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien und Waferdicken zu testen und zu qualifizieren, die für Anwendungen in der vielfältigen europäischen Halbleiterlandschaft entscheidend sind.“
Die Messtechnik ist bei der Herstellung von Mikrochips von entscheidender Bedeutung, da sie präzise Messungen ermöglicht, die erforderlich sind, um die Qualität der einzelnen Schritte und Abläufe bei der Halbleiterherstellung exakt zu überwachen und zu kontrollieren. Die Chiphersteller setzen Messgeräte an kritischen Stellen ein, um die physikalischen und elektrischen Eigenschaften zu validieren und die angestrebte Ausbeute zu gewährleisten.
Weitere Informationen am Center Nanoelectronic Technologies
Quelle und Bild: www.ipms.fraunhofer.de
Kooperationspartner: www.appliedmaterials.com
