27 Aug Integrierbares Massenspektrometer mit Ethernet
Das neue Massenspektrometer HiQuad Neo von Pfeiffer Vacuum erreicht nach Angaben des Herstellers eine besonders hohe Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u und soll sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich auszeichnen. Je nach Anwendung können unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen ausgewählt werden. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten aus der Vorgängergeneration, zum Beispiel des Analysators, soll nach Angaben von Pfeiffer Vacuum möglich sein. Dies reduziert Kosten und Abfall.
Die zugehörige Software PV MassSpec dient zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer lassen sich komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmieren. Die Lecksuche und Vakuumdiagnose sollen mit einem Klick durchführbar sein. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist laut Hersteller unkompliziert; eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen ist möglich. Alternativ kann auch direkt über die Ethernet-Schnittstelle über OPC UA kommuniziert werden.
Das Massenspektrometer soll sich besonders für die Integration in Analysesysteme, Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie und Anwendungen in Forschung und Entwicklung eignen.
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Quelle und Bild: www.pfeiffer-vacuum.com
