Scantisch zum Abrastern sehr großer Wafer
[caption id="attachment_922" align="alignleft" width="300"] Der neue Scantisch ist der größte klassische XY-Scantisch, der derzeit am Markt verfügbar ist. (Bildquelle: Steinmeyer Mechatronik)[/caption] Der neue Scantisch KT600-edlm des Dresdner Spezialisten für Positioniersysteme Steinmeyer Mechatronik erreicht mittels Kompensation Genauigkeiten, die bisher ausschließlich Luftlagersystemen vorbehalten waren, ist jedoch bei vergleichbarer...